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SF6氣體抽真空充氣裝置主要用于瓷柱式SF6斷路器、互感器及其它SF6電器的安裝、運行、維護時抽真空、真空度測定等。是一種緊湊的SF6氣體充氣充氣裝置，整個充氣和抽真空裝置裝在一個非常堅固的金屬車架上，即使在碎石路面也能行走自如。

該裝置按照DL/T662-1999《六氟化硫充氣及回收裝置》標準，裝置真空泵、指針式真空表、調節閥、輸氣管以及維護SF6斷路器的必須的閥門和儀表控制部件組成，

 4型

真空泵速率

4升/秒(14.4m3/h)SF6氣體抽真空充氣裝置

8型

真空泵速率

8升/秒(28.8m3/h)

15型

真空泵速率

15升/秒(54m3/h)

30型

真空泵速率

30升/秒(108m3/h)

70型

真空泵速率

70升/秒(252m3/h)可選用羅茨泵機組

150型

真空泵速率

150升/秒(540m3/h)可選用羅茨泵機組

SF6氣體抽真空充氣裝置主要配置:

真空泵:5--0040旋片式真空泵(德國)

真空表:高精度熱偶真空計

閥門:不銹鋼精密球閥

連接管:高壓管2根